压力传感器元件

产品概要压力传感器元件 – 压力测量方法

NTC Elements

压阻传感器的高精度及其测量绝对压力、表压和压差的能力使其在广泛的用途中得到了各种应用。
对于工业设备和机械,压力传感器提供的信息可以用于最有效地操作液压或气动设备,进而与新的工业4.0标准联系在一起。
汽车对燃料效率和减少有害排放的要求越来越高,需要长期稳定和高度精确的传感器。 除了介质电阻外,一些用途要求压力传感器具有抗冻性,但最重要的是传感器需要在整个寿命期间提供可靠的信号。
所有的用途都对压力模具的独特特性提出了越来越高的要求,需要在模具水平上具有特定的设计特点。已经开发了TDK压力传感器的产品系列,重点是提高灵敏度、高性能和较小的模具尺寸。此外,还特别注意介质电阻和易处理能力的具体特点。

压阻压力传感方法

压阻压力传感方法
绝对压力
 
表压   压差
 

压阻压力测量

压阻压力测量

绝对压力测量 – 前侧

在真空下将玻璃粘合到硅上,从而产生对照真空。被测量介质与压力传感器元件芯片前侧的有源电子元件接触。

表1 : 绝对压力测量 – 前侧
类型: C32 C43 C33 C39
尺寸: 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³ 1.0 x 1.0 x 0.4 mm³ 0.65 x 0.65 x 0.24 mm³
介质: 干燥非侵入式气体 干燥非侵入式气体 干燥非侵入式气体 干燥非侵入式气体
压力范围: 0 … 1.0 to 0 … 40 bar 0 … 10 to 0 …40 bar 0 … 1.2 to 0 … 10 bar 1.2 bar
温度范围: -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C
特点:
  • 四周接合垫布局
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性

→根据要求提供高温系数电阻

  • 为高爆压优化
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性

→根据要求提供高温系数电阻

  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性
  • 小型化设计)
  • 灵敏度公差范围窄
  • 高信号稳定性
  • 小型化设计
截面

绝对压力测量 – 背侧

对于潮湿或腐蚀介质,使用附加的玻璃盖在前侧形成一个对照室。介质应用于背侧入口。

表2 : 绝对压力测量 – 背侧
类型: C32 C38 C44
尺寸: 1.65 x 1.65 x 1.5 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.5 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³
介质: Non-aggressive gases and fluids Non-aggressive gases and fluids Non-aggressive gases and fluids
压力范围: 0 … 0.4 to 0 … 25 bar 0 … 10 to 0 … 40 bar 0 … 10 to 0 … 40 bar
温度范围: -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C
特点:
  • 用于湿介质用途
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性
  • 用于湿介质用途
  • 高爆压
  • 单面焊盘式直接芯片打线
  • 突出的长期稳定性
  • 用于湿介质用途
  • 为高爆压优化
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性
截面:
具体特征: →可焊接 →可焊接 →可焊接

表压和压差测量

表压或压差测量测量前侧和背侧之间的差异。较高的前侧压力引起的压差导致输出信号的正变化。较高的背侧压力导致输出信号的负变化。

表3 : 表压和压差测量
类型: C35 C32 C38 C43
尺寸: 2.05 x 2.05 x 1.2 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³ 1.65 x 1.65 x 1.1 mm³
介质: 非侵入性气体和流体 非侵入性气体和流体 非侵入性气体和流体 非侵入性气体和流体
压力范围: 0 … 0.1 bar 0 … 0.4 to 0 … 25 bar 0 … 10 to 0 … 40 bar 0 … 10 to 0 … 40 bar
温度范围: -40 °C to 150 °C -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C -40 °C to 135 °C
特点:
  • 各种打线接合选项(围绕式打线及直接芯片打线)
  • 灵敏度公差范围窄

→根据要求提供高温系数电阻

  • 四周接合垫布局
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性

→耐高温且具有抗蚀性的金焊盘

  • 单面焊盘式直接芯片打线
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性
  • 为高爆压优化
  • 突出的长期稳定性
  • 高信号稳定性

→根据要求提供高温系数电阻

截面:
具体特征:  

→耐高温且具有抗蚀性的金焊盘

   

压力传感器模具的用途

表4 : 压力传感器模具的用途
  C32 C33 C35 C38 C39 C43 C44
  前侧绝对压力 背侧绝对压力 表压/
压差
前侧绝对压力 表压/
压差
背侧绝对压力 表压/
压差
前侧绝对压力 前侧绝对压力 表压/
压差
背侧绝对压力
汽车 × × × × × × × × × × ×
工业 × × × × × × × × × × ×
药品 × × × × × × × × × × ×
消费品 × × × ×       ×