Weltweite Verfügbarkeit von MEMS-basierten TOF-Ultraschallsensoren in „Sonar on a Silicon Chip” Ausführung bekannt Sensor_007 Sensoren und Sensorsysteme Ultraschallsensoren Time-of-Flight (ToF) Ultraschallsensoren Sensors_14.png https://www.tdk.com/en/news_center/press/20190625_01.htm
