MEMSベースの「シリコンチップ・ソナー」、Time of Flight方式の超音波センサの販売開始について Sensor_007 センサおよびセンサシステム 超音波センサ 超音波ToF(Time-of-Flight)センサ Sensors_14.png https://www.tdk.com/ja/news_center/press/20190625_01.htm