絶対圧・ゲージ圧・差圧の測定ができる高精度なピエゾ抵抗型圧力センサは、幅広い用途に活用されています。
産業用機器や設備では、圧力センサから出力されたデータを使用することで、油圧や空気圧機械操作を効率的に行うだけでなく、製造業の新しい基準であるインダストリー4.0に対応できます。
自動車分野では、燃費向上や有害な排気ガスの削減を求める動きが高まり、長期的安定性を持つ、高精度のセンサが求められています。媒体耐性に加え、圧力センサに耐寒性を求めるアプリケーションもありますが、最も重要なことは、長期にわたり信頼性のある信号を出力することです。
いずれのアプリケーションにおいても、圧力ダイの諸特性に求められる要件は年々厳しくなっており、昨今はすでにダイレベルから特別な設計が要求される傾向にあります。TDKの圧力センサ製品ポートフォリオは、高感度・高性能化と小型化の両立に重点を置いた構成となっています。加えて、媒体耐性や扱いやすさにとくに配慮した製品を取り揃えています。

TDK ICP-101xx気圧センサファミリは、最低レベルの電力での超低ノイズを実現するMEMS静電容量技術に基づいており、業界を代表する相対精度、センサ・スループット、温度安定性を実現しています。

InvenSenseのモーション／ジェスチャベースのデバイスは、モバイル、ウェアラブル、スマートハウス、自動車といった民生用電子機器や、産業用電子機器に多用され、急速に重要な機能を担うようになっています。ジャイロセンサ、加速度センサ、コンパス、気圧センサをはじめとする当社のモーションソリューションは、三次元空間での物体の動きを検出・追跡する機器です。自由空間での運動を計測し、入力コマンドとして提供することで、ユーザと電子デバイスとのやりとりを可能にしています。InvenSenseは、業界トップクラスの相対精度、センサ処理能力、温度安定性を誇るIMUを取り揃えています

EPSモータ用で高シェア、回転センサや位置センサとしても期待されるTMRセンサ。開発リーダーに、TMR角度センサ誕生に至るまでの技術エピソードを語ってもらいました。

TDKのTMRセンサは、HDDヘッドの高感度な再生素子であるTMR素子を応用した新タイプの磁気センサです。
HDDヘッドの再生素子は外部磁場によって抵抗値が変化する磁気抵抗効果(Magnetoresistance effect)を原理とするもので、1980年代以降、AMR(異方性磁気抵抗効果：Anisotropic magnetoresistance effect)素子、GMR(巨大磁気抵抗効果：Giant magnetoresistance effect)素子、TMR(トンネル磁気抵抗効果：Tunnel magnetoresistance effect)素子と進化を遂げながら、HDDの記録密度の飛躍的な向上を推進してきました。それぞれの素子の構造を図1に示します。