Q.ESD対策コンデンサガイド (3): ESDモデルにはどんなものがありますか。

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A. ESDモデルには、CDM（Charged Device Model、帯電デバイスモデル）、MM（Machine Model、マシンモデル）、そしてHBM（Human Body Model、人体モデル）があります。そのうちHBMがコンデンサの試験や評価に最も多く使用されています。

1. CDM：CDMは最も軽視されるモデルの1つです。このESD事象は、デバイスが管や袋、あるいは類似の物から滑り落ちるとき発生します。デバイスを接地するときも発生する場合があります。一般的な放電回路は4pFまたは30pFコンデンサから成ります。
2. MM：MMはHBMと似ています。このモデルはHBMのワーストケースとして日本で生まれました。マシンモデルは、金属のフレームや工具のような導電体からの放電をモデルとしています。その一例として自動テスタのピンなどがあげられます。一般的な放電回路は200pFコンデンサからなり、抵抗は含まれず、500nH直列インダクタから放電します。
3. HBM：HBMは最も古くからある一般的なESDモデルです。Mil-Std 1686のセクション5.2.1.1に記載さているとおり、ESD損傷の主な原因は人体であり、HBMとして標準化されています。これは人体モデルと呼ば れ、人体や帯電デバイスからESDS（ESD sensitive、ESDに敏感な）デバイスへの放電です。これは一般的に指先からデバイスへの放電として表されます。

図1

図1に示した等価回路には、帯電したコンデンサCoがあります。スイッチを入れると、CoはRxを介してコンデンサ（Cx）に放電します。

このモデルは、MIL-STD 883 method 3015（Co = 100pF、Rx = 1.5kohm）に準拠しています。IEC 61000-4-2（Co = 150pF、Rx = 330 ohms）もよく使用されます。AEC-Q200の場合はCo = 150pF、Rx = 2kohmです。そのほか、HBM ESD試験には無数のバリエーションがあります。

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