積層圧電アクチュエータスタック
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TDK製品の特徴
TDKのハイ・アクティブ・スタック（HAS）は、積層圧電アクチュエータの新製品です。TDKが特許を取得したこの革新的な技術は、銅エッチングプロセスをベースにしており、寿命の向上と湿度に対する優れた堅牢性により、卓越した性能を実現します。ピエゾアクチュエータHASは、数十年にわたる自動車産業における燃料噴射分野での経験から生まれた製品で、多層ピエゾアクチュエータスタックの技術を改善し、進歩させるというマイルストーンをTDKは達成しました。
HASは、ナノ位置決め技術（例：顕微鏡）、半導体製造用ディスペンスバルブ、生産工程における接着剤、ボンディングワイヤーマシンなど、メカトロニクス分野でのハイエンドソリューションとして幅広い用途があります。
下記のユニークな特徴により、HASは銀パラジウム（AgPd）ベースのものと比較して、圧電アクチュエータスタックのより望ましい選択肢となります。
・パラジウムの代わりに銅を内部電極に使用しているため、コスト効率が高い。
・不活性領域（幅100 µm）が最小化されているため、20%高いひずみやたわみが可能。
・湿度に対する堅牢性が高く、湿度の高い環境に最適（銀のマイグレーションがない）。
・無鉛、高融点金属の外側接合により、高温下でも脆化や接触不良を起こすことなく使用可能。
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